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鍵合設(shè)備及鍵合方法

937   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:26:08
本發(fā)明提供一種鍵合設(shè)備和鍵合方法,涉及鍵合設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,鍵合設(shè)備包括:供給片傳輸系統(tǒng)、鍵合片傳輸系統(tǒng)、鍵合系統(tǒng)和表面活化系統(tǒng);供給片傳輸系統(tǒng)用于向鍵合系統(tǒng)內(nèi)傳輸供給片,鍵合片傳輸系統(tǒng)用于向鍵合系統(tǒng)內(nèi)傳輸鍵合片;表面活化系統(tǒng)通過(guò)高能光源對(duì)供給片和鍵合片的待鍵合面進(jìn)行表面活化處理;鍵合系統(tǒng)用于將經(jīng)過(guò)活化的鍵合片鍵合于經(jīng)過(guò)活化的供給片上并形成半成品片或成品片;表面活化系統(tǒng)還能夠通過(guò)高能光源對(duì)半成品片的待鍵合面進(jìn)行活化,鍵合系統(tǒng)還用于將經(jīng)過(guò)活化的鍵合片鍵合于經(jīng)過(guò)活化的半成品片上。本發(fā)明提供的方案適用于需多層鍵合完成的復(fù)合材料,制備周期短、效率高且便于對(duì)熱膨脹系數(shù)差異較大的材料進(jìn)行鍵合。
聲明:
“鍵合設(shè)備及鍵合方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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