本實(shí)用新型屬于C/C
復(fù)合材料的生產(chǎn)領(lǐng)域,具體公開一種立式大型化學(xué)氣相沉積爐的分布式加熱系統(tǒng),包括中心加熱器和周邊加熱器,在沉積室中心設(shè)有豎直設(shè)置的中心加熱器,在沉積室的側(cè)壁上沿沉積室的軸向間隔設(shè)置有若干個(gè)加熱單元,每個(gè)加熱單元分別包括沿沉積室的周向間隔設(shè)置的若干個(gè)周邊加熱器,每個(gè)中心加熱器和周邊加熱器分別對應(yīng)設(shè)置有熱電偶、溫控器和電源,工作時(shí),待處理產(chǎn)品擺放在中心加熱器和周邊加熱器之間的環(huán)形均溫區(qū)域內(nèi),產(chǎn)品各面均勻受熱,從根本上解決沉積室內(nèi)溫度不均勻的問題,且每個(gè)加熱器獨(dú)立安裝,可以降低對制造精度的要求,從而降低制造成本,加熱器之間相互獨(dú)立,沒有連接、配合關(guān)系,安裝更容易,維護(hù)更方便。
聲明:
“立式大型化學(xué)氣相沉積爐的分布式加熱系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)