本發(fā)明一種
鈣鈦礦柔性光探測器及其制備方法,包括如下步驟,步驟1,制備鈣鈦礦溶液;步驟2,在清洗干燥后的柔性基片上通過單向刮刀法制備鈣鈦礦薄膜,得到鈣鈦礦柔性薄膜;步驟3,將制備得到的鈣鈦礦柔性薄膜進行退火處理;步驟4,在退火后的鈣鈦礦柔性薄膜上蒸鍍金電極,得到鈣鈦礦柔性光探測器。該薄膜相比較于傳統(tǒng)旋涂法制備的鈣鈦礦薄膜,在性能上具有結(jié)晶質(zhì)量高,晶界少,吸收波段寬,載流子壽命長,空氣穩(wěn)定好等優(yōu)點,在制備技術(shù)上,成本低,生產(chǎn)工藝簡單,能耗低而且能大規(guī)模生產(chǎn)?;诒景l(fā)明的鈣鈦礦柔性光探測器具有十分優(yōu)異的光探測率、光響應(yīng)度、彎曲穩(wěn)定性和器件壽命。
聲明:
“鈣鈦礦柔性光探測器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)