本發(fā)明公開(kāi)一種精密測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域的基于導(dǎo)模激發(fā)古斯?jié)h欣位移增強(qiáng)效應(yīng)的微位移測(cè)量方法,將高平行度的激光入射到沉積在棱鏡上的金屬膜—空氣隙—沉積在光學(xué)玻璃片上的金屬膜組成的雙面金屬包覆波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中,在滿足相位匹配條件時(shí),激光耦合進(jìn)入波導(dǎo)中引起反射光相位相對(duì)于入射光相位產(chǎn)生急劇變化,導(dǎo)致反射光束古斯?jié)h欣位移大大增強(qiáng),利用這個(gè)位移對(duì)導(dǎo)波層空氣隙厚度變化非常敏感的特性,通過(guò)檢測(cè)反射光古斯?jié)h欣位移的變化來(lái)測(cè)量光學(xué)玻璃片相對(duì)于棱鏡位置的改變,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)物體位移大小的測(cè)量。本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)高靈敏度、快速準(zhǔn)確的實(shí)時(shí)測(cè)量,且方法簡(jiǎn)單、抗干擾能力強(qiáng),可廣泛應(yīng)用于建筑、地質(zhì)監(jiān)測(cè),機(jī)械加工、材料檢測(cè)的微位移測(cè)量。