本發(fā)明屬于光電探測器器件制造技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種有機?無機雜化的無鉛氯化物
鈣鈦礦薄膜可見光盲紫外探測器及其制備方法。所述制備方法包括以下步驟:在表面有絕緣層的襯底上制備MASnCl
3薄膜后蒸鍍叉指電極,或在表面有絕緣層的襯底上蒸鍍叉指電極后制備MASnCl
3薄膜。本發(fā)明提供了一種金叉指電極的共平面MSM結(jié)構(gòu)的MASnCl
3薄膜可見光盲紫外探測器,其制備方法可生長得到致密的且結(jié)晶度良好的MASnCl
3薄膜,制備的紫外探測器響應(yīng)度高,為制備高靈敏度的鈣鈦礦可見光盲紫外探測器提供新的思路。
聲明:
“有機-無機雜化的無鉛氯化物鈣鈦礦薄膜可見光盲紫外探測器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)