本發(fā)明涉及一種生長大尺寸(Φ5英寸)鉭酸鋰單晶的方法,尤其是使用銥坩堝在保護(hù)性氣氛下來進(jìn)行大尺寸鉭酸鋰單晶提拉法(Czochralski)的生長技術(shù)。該方法在拉晶過程中用銥坩堝取代了鉑坩堝,該方法生長的鉭酸鋰單晶性能指標(biāo)如下:直徑為Φ127mm,長度大于50mm,生長方向為:X112、Y36,質(zhì)量達(dá)到制造聲表面波器件對鉭酸鋰單晶質(zhì)量的要求,成品率>75%。
聲明:
“生長Φ5英寸鉭酸鋰單晶的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)