本發(fā)明公開了一種鋰電池用SiCO?碳納米管復(fù)合薄膜電極，其特征在于：包括單晶硅基板（1），單晶硅基板（1）上依次設(shè)有TiN阻擋層（2）、Cu薄膜層（3）、CuO薄膜層（4）、SiCO薄膜層A（5）、Ni催化層（6）、碳納米管層（7）和SiCO薄膜層B（8）。本發(fā)明不僅可以有效的提高電極的循環(huán)穩(wěn)定性，而且單層膜厚度可以大大降低，又可以獲得較大的薄膜體系厚度，從而改善材料在高倍率充放電時(shí)的電化學(xué)性能。