本發(fā)明涉及電光調(diào)制器件的技術(shù)領(lǐng)域,公開(kāi)了一種用陣列電極進(jìn)行光束偏轉(zhuǎn)的鈮酸鋰波導(dǎo),由上而下依次為陣列電極、緩沖層、單晶鈮酸鋰薄膜、絕緣層、金屬電極和襯底,所述陣列電極由形狀為平行四邊形的微結(jié)構(gòu)電極單元組成,所述單晶鈮酸鋰薄膜中間包裹有條狀的質(zhì)子交換鈮酸鋰波導(dǎo),設(shè)置在緩沖層下方并正對(duì)陣列電極。本發(fā)明制造工藝簡(jiǎn)單,且損耗低、穩(wěn)定性強(qiáng),兼顧器件的高速調(diào)制特性和電光效應(yīng)引起折射率變化的有效性,能夠通過(guò)電光效應(yīng)達(dá)到光模式偏轉(zhuǎn)和光模場(chǎng)調(diào)控目的。
聲明:
“用陣列電極進(jìn)行光束偏轉(zhuǎn)的鈮酸鋰波導(dǎo)及制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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