本發(fā)明涉及一種鈮酸鋰光波導(dǎo)器件的制備方法,屬于光通信技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明引入新的包層結(jié)構(gòu),通過離子注入、旋涂BCB、鍵合、退火等工藝獲得微米量級(jí)的鈮酸鋰薄膜光波導(dǎo)器件,工藝上利于脊型波導(dǎo)的制備,并且最終制備的光波導(dǎo)有效減少了傳輸損耗,增大光的束縛性;本發(fā)明選用BCB作為鍵合介質(zhì)材料,常溫下作為粘合劑,能夠?qū)⑩壦徜嚤∧づc襯底有效結(jié)合在一起,退火后BCB固化,并作為波導(dǎo)包層,后續(xù)對(duì)鈮酸鋰薄膜的掩膜刻蝕工藝簡便,也不會(huì)對(duì)鈮酸鋰薄膜造成損壞;鈮酸鋰的光折射率為2.2,大于BCB的折射率1.5并大于空氣的折射率1,可以將光很好的約束在波導(dǎo)中,從而不需要進(jìn)行質(zhì)子交換即可實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的性能。
聲明:
“鈮酸鋰光波導(dǎo)器件及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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