本發(fā)明實(shí)施例公開了一種制備鉭酸鋰晶片的方法，包括：獲取鉭酸鋰基片；清洗鉭酸鋰基片；將鉭酸鋰基片置于腐蝕溶液中，并且在鉭酸鋰基片的中心位置處加熱腐蝕溶液，使鉭酸鋰基片在腐蝕溶液中腐蝕第一時(shí)間，獲得鉭酸鋰晶片；清洗并干燥鉭酸鋰晶片。本發(fā)明的實(shí)施例的方法中，對(duì)鉭酸鋰基片進(jìn)行腐蝕時(shí)，在鉭酸鋰基片的中心位置處加熱腐蝕溶液，通過(guò)對(duì)該加熱位置的控制，實(shí)現(xiàn)了對(duì)鉭酸鋰基片表面的溫度分布的控制，進(jìn)而控制了腐蝕速率，從而可以控制腐蝕后的表面粗糙度和均勻性。該方法制備的鉭酸鋰晶片的表面均勻性好，表面粗糙度小，并且背侵、背花等問(wèn)題得到改善。