本發(fā)明公開一種電致變色膜系中的鉭酸鋰薄膜的制備方法,包括以下步驟:S1、取20Ω的ITO鍍膜玻璃作為襯底;S2、將襯底裝入樣品架,送入磁控濺射鍍膜腔室;以鉭酸鋰靶為靶材;S3、對(duì)磁控濺射鍍膜腔室抽真空,當(dāng)真空度達(dá)到10
?6Pa時(shí),對(duì)襯底進(jìn)行100~200℃的加熱處理;S4、向磁控濺射鍍膜腔室內(nèi)通入氬氣,開啟射頻電源,使靶材起輝;然后打開直流電源,在射頻與直流的耦合過程中對(duì)靶材進(jìn)行預(yù)濺射;S5、預(yù)濺射完畢后通入氧氣,通過磁控濺射沉積鉭酸鋰薄膜;S6、待樣品架自然冷卻至室溫后,取出襯底,得到鉭酸鋰薄膜;該方法制備得到的鉭酸鋰薄膜可控性、重復(fù)性強(qiáng),提升膜系的整體性能。
聲明:
“電致變色膜系中的鉭酸鋰薄膜的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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