一種鉭酸鋰晶片的磨削加工方法,包括如下步驟:(1)將金剛石組合砂輪固定在磨床的轉(zhuǎn)盤上;(2)將待加工的鉭酸鋰晶片固定在基板上,所述基板固定在工作臺(tái)上;(3)加工前開啟冷卻液覆蓋所述待加工的鉭酸鋰晶片的全部表面,所述冷卻液含有電解質(zhì)溶液,加工時(shí)調(diào)節(jié)切削力大小、主軸轉(zhuǎn)速、工件旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)速和工件進(jìn)給速度進(jìn)行磨削加工,制得鉭酸鋰晶片。本發(fā)明提供一種加工效率高、成品率高、有效解決加工時(shí)容易產(chǎn)生劃痕和易斷裂的問題的鉭酸鋰晶片的磨削加工方法。
聲明:
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