本發(fā)明提出的一種抗激光損傷鈮酸鋰三波段減反射膜的制作方法，利用本方法，可顯著地提高光參量振蕩中紅外激光器中鈮酸鋰減反射膜的激光損傷閾值，承受100毫焦量級的1065nm激光，保證激光器穩(wěn)定工作。本發(fā)明通過下述技術方案予以實現(xiàn)：以中紅外薄膜材料為基礎選擇薄膜材料，選取ZnS作為高折射率材料，在CaF2、YF3、YbF3中篩選低折射率材料，以1065nm為膜系設計參考波長，在計算機上，設計出三波段減反射膜；使用全自動鍍膜機，制作出該鍍膜機自動控制用的模板控制文件；根據(jù)材料實驗結果對石英晶振定標，鍍膜機內裝入選定的鍍膜材料，按選定的模板控制文件自動完成在鈮酸鋰上制作近、中紅外波段具有高的激光損傷閾值的三波段減反射膜減反射膜的制作。