本發(fā)明公開了一種高容量硅基鋰離子電池負(fù)極復(fù)合膜及其制備方法，包括沉積于基片上的鎳鈦層和沉積于鎳鈦層之上的硅層，所述鎳鈦層與硅層的厚度之比為0.8～5∶1，鎳鈦層中鎳的原子數(shù)百分比為49.5～51.5％，其余為鈦。通過磁控濺射沉積實(shí)現(xiàn)復(fù)合膜的制備。本發(fā)明的復(fù)合膜能夠完全發(fā)揮硅電極材料的電性能，防止硅電極材料在充放電過程中發(fā)生破壞脫落，極大的提高了此類高能量密度鋰離子電池的壽命。將本發(fā)明的復(fù)合膜與純鋰組裝成雙電極硬幣型電池并測試了電容量，在100次循環(huán)之后，其電容量仍然保持在至少1100mHA/g，顯示了超彈鎳鈦與硅疊層復(fù)合膜電極優(yōu)異的電容量和良好的循環(huán)性能。