一種拋光鉭酸鋰晶片的軟質(zhì)磨料固著磨具，所述軟質(zhì)磨料固著磨具原料的配制：納米二氧化硅40％～60％、粘結(jié)劑20％～40％、固化劑10％～15％、氧化劑5％～10％、去離子水10％～15％和堿性PH調(diào)節(jié)劑5％～10％。一種拋光鉭酸鋰晶片的軟質(zhì)磨料固著磨具的制作方法，在去離子水中加入固化劑，并攪拌使其溶解，隨后加入結(jié)合劑、納米二氧化硅、氧化劑和堿性PH調(diào)節(jié)劑，將其攪拌均勻；將配置好的配料在模具中熱壓成形，脫模后完成熱固化，并對其上下端面進(jìn)行修整，保證磨具上下端面的平整度和平行度。本發(fā)明加工表面質(zhì)量好、加工效率高、生產(chǎn)成本低。