本發(fā)明屬于化學(xué)電源技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及用于一種薄膜鋰電池及界面修飾層的制備方法，包括如下步驟，S1、在基底上沉積金屬作為緩沖層；S2、在緩沖層上沉積金屬作為集流體；S3、在S2中金屬上沉積正極薄膜；將沉積好的正極薄膜放置退火爐中；S4、采用原子層沉積技術(shù)，以三甲基鋁，四乙氧基硅烷，四異丙醇鈦中的一種或多種組合作為前軀體、去離子水為氧源，反應(yīng)溫度200℃，在正極薄膜表面沉積5?20nm厚度的界面修飾層，對退火后的正極薄膜表面進(jìn)行包覆。膜鋰電池界面修飾層，由于采用原子力沉積法制備薄膜修飾層，此薄膜修飾層比較致密，修飾了高溫退火過程中正極薄膜形成的微小裂縫，降低了電池內(nèi)部短路情況，提高了電池性能。