本申請?zhí)峁┮环N基于鈮酸鋰薄膜的寬帶低相噪集成光生微波源芯片，包括設(shè)置在鈮酸鋰薄膜上的鈮酸鋰光波導；鈮酸鋰光波導包括模斑轉(zhuǎn)換波導、第一直波導、第一彎曲波導、第一Y分支波導、第二Y分支波導；第一Y分支波導與第二Y分支波導之間并聯(lián)有第四直波導和第五直波導；第四直波導上連接有第一光學微腔波導；第五直波導上連接有第二光學微腔波導；模斑轉(zhuǎn)換波導、第一直波導和第一金屬電極共同形成相位調(diào)制器；第四直波導、第一光學微腔波導和第二金屬電極共同形成高Q微諧振器；第五直波導、第二光學微腔波導和第三金屬電極共同形成低Q微諧振器。本申請有利于實現(xiàn)光生微波源的小型化和工程化。