本實用新型涉及一種烷類化工產(chǎn)品-高純硅烷制備的裝置，特別是一種采用氫化鋰還原三氯氫硅反應(yīng)制備硅烷的裝置，適合于化工合成硅烷。一種采用氫化鋰還原三氯氫硅反應(yīng)制備硅烷的裝置；由三氯氫硅儲罐與硅烷反應(yīng)器的入口相連；冷卻器接入硅烷反應(yīng)器的出口構(gòu)成循環(huán)回路；低溫吸附裝置通過連接管線接入冷卻器的出口；液化器與低溫吸附裝置的出口相連、液化器的出口連接壓縮機的汽化升壓裝置構(gòu)成。設(shè)計合理，使用方便，是理想的高純硅烷制備裝置。