光電子集成技術(shù)作為發(fā)揮光子優(yōu)勢的重要技術(shù)手段，成為光通信、微波光子等領(lǐng)域的重要支撐技術(shù)。然而，現(xiàn)有光電子集成還處在單個芯片實(shí)現(xiàn)單種器件的水平，多種器件之間的互連成為極大的技術(shù)挑戰(zhàn)。本發(fā)明提出一種基于鈮酸鋰?氮化硅晶圓的光電單片集成系統(tǒng)，利用一種新型晶圓(鈮酸鋰?氮化硅晶圓)，實(shí)現(xiàn)了包括電光調(diào)制器、光子無源器件等在內(nèi)的多器件單片集成系統(tǒng)。該系統(tǒng)的制備具有硅基CMOS工藝兼容性，可以在多數(shù)芯片制造廠商的平臺上實(shí)現(xiàn)。并且該系統(tǒng)包含了電光調(diào)制、無源信號處理、光電探測在內(nèi)的多個功能模塊，可以滿足目前多數(shù)光電子系統(tǒng)的單片集成。