本發(fā)明涉及一種薄膜固態(tài)電解質(zhì)及其制備方法和應(yīng)用，該固態(tài)電解質(zhì)為非晶態(tài)摻Nb鋰磷氧氮氧化物，固體電解質(zhì)材料為無(wú)定形薄膜形態(tài)，通過(guò)利用磷酸鋰、鈮酸鋰混合靶在氮?dú)夂凸矠R射或者將LiPON及LiNbON薄膜復(fù)合的方法實(shí)現(xiàn)摻Nb的鋰磷氧氮氧化物新型固態(tài)電解質(zhì)的制備。所述非晶態(tài)摻Nb的鋰磷氧氮氧化物新型固態(tài)電解質(zhì)具有較好的空氣穩(wěn)定性，60度時(shí)鋰離子導(dǎo)電率可達(dá)3.0*10^?5S/cm，電子導(dǎo)電率低至3.6*10^?7S/cm，電化學(xué)窗口大于6V。非晶態(tài)摻Nb的鋰磷氧氮氧化物新型固態(tài)電解質(zhì)可在保證電子通路阻斷且保持較高離子導(dǎo)電率的同時(shí)減小薄膜厚度、降低薄膜阻抗，使其應(yīng)用在電池中時(shí)電池具有更低的極化、更優(yōu)異的電化學(xué)性能。