本發(fā)明公開(kāi)一系列酰胺類(lèi)稀土金屬釓配合物的合成方法是在惰性氣體N2或者Ar2保護(hù)下,等摩爾量的酰胺配體與正丁基鋰在-78℃～0℃下,反應(yīng)1～5小時(shí),反應(yīng)得到酰胺鋰鹽;三氯化釓和酰胺鋰(物質(zhì)的量比為1∶3)在無(wú)水有機(jī)溶劑中,反應(yīng)12～70小時(shí)后,將得到的澄清反應(yīng)液抽干,經(jīng)有機(jī)低極性溶劑萃取,過(guò)濾,濾液濃縮,冷凍結(jié)晶得到配合物。該類(lèi)配合物具有揮發(fā)性好,活性高,合成簡(jiǎn)單,產(chǎn)率高,成本低等優(yōu)點(diǎn),作為前驅(qū)體制備得到的高K材料薄膜致密和均勻,顆粒在20nm-40nm之間。