本發(fā)明公開了一種相位調(diào)制器及諧振腔異質(zhì)集成芯片。在鈮酸鋰薄膜基片上設(shè)置氮化硅調(diào)制諧振模塊；氮化硅調(diào)制諧振模塊包括鈮酸鋰波導(dǎo)相位調(diào)制單元、層間耦合單元和氮化硅諧振單元；鈮酸鋰波導(dǎo)相位調(diào)制單元的輸入端接收激光器輸出的光，鈮酸鋰波導(dǎo)相位調(diào)制單元對輸入的光進(jìn)行調(diào)制得到調(diào)制光；層間耦合單元實(shí)現(xiàn)調(diào)制光從鈮酸鋰波導(dǎo)相位調(diào)制單元向氮化硅諧振單元進(jìn)行過渡；調(diào)制光經(jīng)層間耦合單元耦合至氮化硅諧振單元；氮化硅諧振單元對耦合后的光進(jìn)行諧振，然后由氮化硅諧振單元的輸出端將諧振后的光輸出至探測器。采用本發(fā)明的芯片，將鈮酸鋰相位調(diào)制器與諧振腔集成在一個芯片上，能夠減小體積、降低功耗和成本，提高諧振式集成光學(xué)陀螺系統(tǒng)的穩(wěn)定性。