本發(fā)明是關(guān)于一種高頻表面聲波組件及其基板,尤其是指一種無需以價(jià)格昂貴的藍(lán)寶石基板做為其基板的高頻表面聲波組件及其基板。高頻表面聲波組件包括:一基板;一形成于基板的表面的第一緩沖層;一形成于第一緩沖層的表面的第二緩沖層,一形成于第二緩沖層的表面的壓電層;一輸入轉(zhuǎn)換部;以及一輸出轉(zhuǎn)換部。其中,輸入轉(zhuǎn)換部與輸出轉(zhuǎn)換部成對(duì)地設(shè)置于壓電層的表面或其下方。基板為硅基板,第一緩沖層為氧化硅,厚度介于0.05至0.2μm之間,第二緩沖層為氧化鋁,厚度介于0.5至20μm之間,壓電層為氧化鋅、氮化鋁、鈮酸鋰或鉭酸鋰材質(zhì)的壓電薄膜。