本發(fā)明公開了一種高品質(zhì)波導(dǎo)結(jié)構(gòu)及制備方法,其制備包括鈮酸鋰薄膜表面鍍金屬鉻膜、飛秒激光直寫鉻膜作掩模層、化學(xué)機(jī)械拋光、化學(xué)氣相沉積以及鈮酸鋰薄膜鍵合等步驟。本發(fā)明方法的制備流程優(yōu)化了化學(xué)機(jī)械拋光工藝制備波導(dǎo)的構(gòu)型同時(shí)具備超低傳輸損耗的特性、優(yōu)異電光特性,為實(shí)現(xiàn)鈮酸鋰光子器件邁向產(chǎn)業(yè)化提供了關(guān)鍵步驟,同時(shí)也可推進(jìn)微納光子學(xué)、集成光學(xué)以及微波光子學(xué)的發(fā)展。
聲明:
“高品質(zhì)波導(dǎo)結(jié)構(gòu)及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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