本發(fā)明屬于半導(dǎo)體工藝技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種混合集成光纖陀螺光學(xué)
芯片,包括基底、光源、硅基3dB耦合器、鈮酸鋰Y分支相位調(diào)制器、及信號(hào)探測(cè)器,硅基3dB耦合器基于硅基二氧化硅光波導(dǎo)技術(shù),包括相互連通的Y分支波導(dǎo)、兩個(gè)90°圓弧波導(dǎo)、錐形波導(dǎo)和兩個(gè)直波導(dǎo),錐形波導(dǎo)的寬端作為光學(xué)芯片的光輸入端口,所述光源正對(duì)光輸入端口,與Y分支相連的直波導(dǎo)作為光學(xué)芯片的信號(hào)輸出端口,信號(hào)探測(cè)器的光敏面正對(duì)信號(hào)輸出端口,與90°圓弧波導(dǎo)相連的直波導(dǎo)作為光傳輸端口,與鈮酸鋰Y分支相位調(diào)制器3的基波導(dǎo)端面通過(guò)波導(dǎo)耦合工藝拼接固定。本發(fā)明消除了光纖熔接點(diǎn),具有集成度高、體積小、功耗低、性能好、可靠性和環(huán)境適應(yīng)性好等優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“混合集成光纖陀螺光學(xué)芯片” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)