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利用真空磁控濺射技術(shù)在PE隔膜表面制備陶瓷膜的方法

668   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 23:24:41
本發(fā)明公開一種利用真空磁控濺射技術(shù)在PE隔膜表面制備陶瓷膜的方法,該方法是將要處理的PE隔膜在凈化房內(nèi)分切成需要的尺寸后安裝在設(shè)備的放卷輥上;開啟Roll?Roll真空磁控濺射鍍膜設(shè)備,調(diào)整設(shè)備至可鍍膜工藝條件;開啟離子源轟擊PE膜,將聚烴高分子鍵部分打開;在聚烴分子鍵打開的同時(shí),開啟中頻濺射陰極,利用中頻磁控濺射陰極反應(yīng)濺射Si靶材,形成SixNy?陶瓷材料嵌入到被打開的聚烴分子鍵位置,形成陶瓷膜;在真空狀態(tài)下進(jìn)行退火處理,消除陶瓷膜應(yīng)力;收?放卷連續(xù)濺鍍;整卷鍍膜完成;破真空;取下收券輥;取樣檢查性能;包裝入庫;它通過利用真空磁控濺射鍍膜技術(shù)在鋰電池用PE隔離膜上沉積一層陶瓷膜,改善PE隔膜對電解液的潤濕性和提高PE隔膜熱穩(wěn)定性。
聲明:
“利用真空磁控濺射技術(shù)在PE隔膜表面制備陶瓷膜的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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