本發(fā)明公開了一種用于芯片質子交換的機械臂控制夾具，固定于質子交換爐的頂端及內部，包括：固定模塊、電機控制裝置、傳動裝置、機械轉動懸臂、機械位移臂、夾具卡持模塊、芯片夾具。另外，本發(fā)明還公開了一種根據(jù)機械臂控制夾具進行質子交換的方法。本發(fā)明可以機械控制鈮酸鋰基片的移動，有效地減小質子交換過程中的人工操作及開關質子交換爐給交換過程帶來的溫度波動，從而減小對操作人員的身體傷害并提高質子交換制作鈮酸鋰光波導的穩(wěn)定性。