本發(fā)明公開了一種MEMS振動能量收集與存儲的單片集成裝置及其制備方法。本發(fā)明采用堆疊的方式實現(xiàn)能量收集器件與鋰離子電池的單片集成，結(jié)構(gòu)簡單緊湊，利于實現(xiàn)傳感器節(jié)點的微型化、集成化并提高能源利用效率。此外，本發(fā)明中基于MEMS懸臂梁結(jié)構(gòu)的堆疊方式，既實現(xiàn)了能量收集器件對振動能量的有效收集，還有助于釋放和減小鋰離子電池充放電時產(chǎn)生的應(yīng)力，不但提高了器件的集成度還增強了器件可靠性。