從不純氫化物氣體中除去污染物的凈化物質,包含負載在多孔載體上的經還原的金屬氧化物和干燥劑。多孔載體可以選自活性炭、
氧化鋁、氧化硅、沸石、氧化硅鋁、氧化鈦、氧化鋯及其混合物。經還原的金屬氧化物可以包括選自第I族堿金屬(鋰、鈉、鉀、銣和銫),第II族堿土金屬(鎂、鈣、鍶和鋇)和過渡金屬(錳、鎳、鋅、鐵、鉬、鎢、鈦、釩、鈷和銠)中的一種或多種金屬。干燥劑可以選自吸濕的金屬鹽、沸石、單金屬氧化物、混合金屬氧化物及其混合物。
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