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非極性面INN材料的生長方法

890 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 00:13:42

一種非極性面InN材料的生長方法，利用金屬有機物化學汽相外延MOCVD生長系統(tǒng)，在鋁酸鋰LiAlO2(100)襯底上合成生長m面InN材料以及高In組分m面InGaN 材料，所述m面是非極性面的一種，高In組分指InxGa1-xN材料中In組分x大于0.3。本發(fā)明利用MOCVD生長系統(tǒng)，采用LiAlO2(100)材料作為襯底、對LiAlO2(100)襯底進行處理以及利用低溫緩沖層，合成生長m面InN材料以及高In組分m面InGaN材料，通過選擇合適的襯底，在MOCVD系統(tǒng)下，選擇適當?shù)纳L的技術條件，并利用緩沖層的設計，生產(chǎn)得到非極性面InN材料。

聲明：

“非極性面INN材料的生長方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)