本發(fā)明公開了一種片上集成光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)及制備方法，其制備包括鈮酸鋰薄膜表面上鍍金屬鉻膜、飛秒激光直寫鉻膜層、化學(xué)機械拋光、反應(yīng)離子刻蝕以及鉻膜腐蝕等步驟。本發(fā)明方法制備流程結(jié)合了化學(xué)機械拋光的側(cè)壁及表面光潔度以及反應(yīng)離子刻蝕的側(cè)壁陡直度的優(yōu)勢，可大規(guī)模制備高度復(fù)雜且具有高精密結(jié)構(gòu)的片上集成光子器件，包括光學(xué)調(diào)制器、波分復(fù)用器、微型激光器、濾波器，在光通信、量子計算、精密測量等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用前景。