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化學分解法提純硅烷的方法

1122 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 00:22:07

本發(fā)明涉及化學分解法提純硅烷的方法，在反應器中裝有反應劑，粗硅烷通過反應器入口加入、經過與反應劑反應后，高純硅烷經過采出口采出。反應器為一個或多個串聯(lián)。多個串聯(lián)反應器是由硅烷入口和出口通過管道與反應器相連。反應溫度控制在-100～100℃。反應劑是能與硅烷的雜質反應生成高沸物而不與硅烷反應的物質,優(yōu)選為無水乙醚、丙酮、甲醇、氫化鋰的四氫呋喃溶液或濃硫酸。每個反應器中裝填單一的反應劑，串聯(lián)的幾個反應器中裝填同一種反應劑或者不同反應劑。本發(fā)明化學分解法分離提純硅烷操作工藝簡單，設備投資少，得到的硅烷純度高，采用化學分解法分離提純，提純后的硅烷純度達到6N及以上。

聲明：

“化學分解法提純硅烷的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)