亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 加工技術(shù)

> 超薄晶圓平坦化加工夾持的方法

超薄晶圓平坦化加工夾持的方法

827   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 00:22:07
本發(fā)明公開了一種超薄晶圓平坦化加工夾持的方法,包括如下步驟:首先將超薄晶片放置在真空吸盤的表面,真空吸盤的底部且對(duì)應(yīng)超薄晶片的位置開設(shè)有多個(gè)抽氣孔,在真空吸盤的頂部設(shè)置真空系統(tǒng),真空系統(tǒng)通過對(duì)真空吸盤表面的多個(gè)抽氣孔進(jìn)行抽真空,使超薄晶片吸附在真空吸盤的底部。本發(fā)明較傳統(tǒng)的吸附墊夾持方式,可以大幅增加加工壓力,提升拋光效率,并且可以克服傳統(tǒng)的雙拋、上蠟以及吸附墊夾持加工方式無法達(dá)到<200um的工藝水準(zhǔn),本發(fā)明可以將晶片薄化到<50um,且保證表面平坦度可達(dá)5mm2<0.5um,PLTV>95%的水準(zhǔn),解決了傳統(tǒng)加工工藝無法達(dá)到鉭酸鋰(LiTaO3;LT)晶片厚度<200um,且平坦度在5mm2<0.5um,PLTV>95%穩(wěn)定產(chǎn)品品質(zhì)要求的問題。
聲明:
“超薄晶圓平坦化加工夾持的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
加工技術(shù)
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)
了解更多信息請(qǐng)您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記