本發(fā)明涉及一種酸敏感光刻膠樹脂單體的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括如下反應路線：其中，M為碳數(shù)5～7的環(huán)烷基，R1為氫原子或烷基，R2為烷基；所述制備方法包括如下步驟：c)向第一溶劑中通入鹵甲烷，得到含鹵甲烷的第一溶劑溶液；d)在惰性氣體條件下，將金屬鋰和式Ⅳ化合物加入到第一溶劑中混合，滴加步驟c)制備的含鹵甲烷的第一溶劑溶液，攪拌，反應，純化，得到式Ⅲ化合物；f)將式Ⅲ化合物和縛酸劑加入到第二溶劑中混合，并滴加式Ⅱ化合物，經(jīng)酯化反應，純化，得到式Ⅰ化合物。本發(fā)明制備方法得到的樹脂單體為一種酸敏感光刻膠樹脂單體，得到的產(chǎn)物收率高，純度高，雜質少。