本發(fā)明公開了一種五氟化磷生產(chǎn)裝置和方法，包括氟化氫供給裝置、五氟化磷反應(yīng)精餾塔，所述五氟化磷反應(yīng)精餾塔包括下部的反應(yīng)段和上部的精餾段，所述氟化氫供給裝置連接至五氟化磷反應(yīng)精餾塔的反應(yīng)段上方，所述五氟化磷反應(yīng)精餾塔的反應(yīng)段下方設(shè)置有三氯化磷和氯氣的進(jìn)料入口。本發(fā)明本發(fā)明采用反應(yīng)精餾塔作為五氟化磷生產(chǎn)裝置，可實(shí)現(xiàn)五氟化磷的連續(xù)生產(chǎn)，并獲得穩(wěn)定指標(biāo)參數(shù)的五氟化磷產(chǎn)品，可以為后續(xù)工藝中六氟磷酸鋰生產(chǎn)提供穩(wěn)定供料。