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半導體工業(yè)廢水的處理方法

883 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 00:59:38

本發(fā)明涉及一種半導體工業(yè)廢水的處理方法,主要用于半導體生產(chǎn)企業(yè)在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢水的處理和回收利用。其特征在于處理步驟如下:(1)將半導體器件制造中產(chǎn)生的電鍍廢水和研磨廢水進行混合,形成混合廢水;(2)將步驟(1)的混合廢水泵入浸沒式膜過濾裝置過濾;(3)將經(jīng)過步驟(2)過濾的水泵入納濾膜過濾裝置過濾,經(jīng)過納濾膜過濾裝置過濾的水即可直接回用。本發(fā)明采用上述半導體加工混合廢水經(jīng)浸沒式膜過濾裝置過濾及納濾膜過濾裝置過濾處理,可回收大于85%的水資源,回收水質(zhì)穩(wěn)定,回收水質(zhì)完全達到和優(yōu)于國家標準,整個處理過程未添加任何化學藥劑,不會產(chǎn)生有害的污泥,運行費用較低,濃縮后的污泥無毒、無害,易處理。

聲明：

“半導體工業(yè)廢水的處理方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)