本實(shí)用新型公開了一種高效工業(yè)廢水深度處理裝置，包括臭氧催化氧化池和集約式內(nèi)循環(huán)曝氣生物濾池，臭氧催化氧化池的內(nèi)底部設(shè)置有高效均質(zhì)均量配水器，高效均質(zhì)均量配水器的進(jìn)水管延伸出臭氧催化氧化池，高效均質(zhì)均量配水器的上方設(shè)置有三維立體反洗系統(tǒng)，臭氧催化氧化池的頂部通過排水系統(tǒng)與集約式內(nèi)循環(huán)曝氣生物濾池連通，占地面積小，是其他相似工藝占地的1/3?1/2，且可根據(jù)廠地要求建成鋼筋混凝土池體或鋼板組裝的一體化設(shè)備；運(yùn)行穩(wěn)定，可循環(huán)使用，無易損耗物件；操作簡單方便，可全天全自控運(yùn)行；耐沖擊負(fù)荷高；運(yùn)行費(fèi)用低，投資成本低。由于集約內(nèi)循環(huán)曝氣生物濾池隔離式的獨(dú)特曝氣方式，出水懸浮物一般都低于現(xiàn)有的工業(yè)廢水排放標(biāo)準(zhǔn)。