本發(fā)明公開了一種砷化鎵
芯片高砷高鹽廢水和含砷研磨廢水綜合處理方法,目的在于解決砷化鎵芯片的高砷高鹽和含砷研磨廢水的處理問題。該方法包括如下步驟:(1)高砷高鹽廢水結(jié)晶脫鹽及單效蒸發(fā)預(yù)處理;(2)含砷研磨廢水沉淀預(yù)處理;(3)綜合廢水除砷除磷除氟沉淀處理;(4)芬頓臭氧二級氧化及沉淀處理;(5)氨氮去除;(6)樹脂吸附(7)污泥處理。本發(fā)明工藝合理,能夠解決高砷高鹽砷化鎵芯片廢水結(jié)晶堵塞、難沉淀的問題,消除高鹽和研磨液超細(xì)懸浮物對樹脂吸附的不利影響,保證處理后的廢水達(dá)標(biāo)排放,具有顯著的經(jīng)濟(jì)價值、環(huán)境價值,對于促進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)生的發(fā)展,具有現(xiàn)實(shí)的意義。
聲明:
“砷化鎵芯片高砷高鹽廢水和含砷研磨廢水綜合處理方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)