本發(fā)明是電子行業(yè)含氟廢水深度處理及回用系統(tǒng)和工藝，系統(tǒng)包括通過管道依次連接的調(diào)節(jié)池、第一多介質(zhì)過濾器、活性炭過濾器、軟化裝置、過濾水箱、保安過濾器、RO系統(tǒng)、含氟廢水暫存池、高濃度含氟廢水一級(jí)化混系統(tǒng)、高濃度含氟廢水二級(jí)深度除氟系統(tǒng)、第二多介質(zhì)過濾器、除氟樹脂塔和放流池，調(diào)節(jié)池連接含氟廢水進(jìn)管，放流池連接達(dá)標(biāo)排放管。工藝包括：第一步：含氟廢水調(diào)節(jié)系統(tǒng)；第二步：反滲透過濾系統(tǒng)；第三步：高濃度含氟廢水一級(jí)化混系統(tǒng)；第四步：高濃度含氟廢水二級(jí)深度除氟系統(tǒng)；第五步：除氟樹脂系統(tǒng)。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)：采用RO濃縮、兩級(jí)化混、投加除氟劑和除氟樹脂聯(lián)用的工藝實(shí)現(xiàn)了電子行業(yè)含氟廢水深度處理和回收利用的目的。