本發(fā)明涉及新型順酐廢水深度處理系統(tǒng)及其工藝，包括，臭氧氧化反應(yīng)模塊，其包括臭氧發(fā)生器和原水箱，所述臭氧發(fā)生器通過通氣管道連接臭氧氧化柱，且臭氧氧化柱底部設(shè)置有臭氧氧化區(qū)曝氣孔，所述原水箱通過第一蠕動(dòng)泵機(jī)組往臭氧氧化柱內(nèi)輸送污水；BAF生化反應(yīng)模塊，其包括多個(gè)BAF反應(yīng)柱、以及通過曝氣管與BAF反應(yīng)柱曝氣口相連接的空壓機(jī)；多個(gè)所述BAF反應(yīng)柱均通過管道連接收集池。本法工藝簡(jiǎn)單，易于操作，可單一工藝運(yùn)行，也可多工藝耦合共同運(yùn)行，也可根據(jù)工藝需要多臺(tái)串聯(lián)運(yùn)行，不限設(shè)備數(shù)量，安裝、操作、維修等簡(jiǎn)單易學(xué)，所需工作人員較少，可顯著減輕工人勞動(dòng)強(qiáng)度、改善工作環(huán)境、減少人工成本。