本發(fā)明公開(kāi)了綠色環(huán)保的特種二氧化硅及其生產(chǎn)方法，方法包括以下步驟：微硅粉收集活化處理；余熱回收利用處理；高純水玻璃制備；特種二氧化硅制備；廢水處理。特種二氧化硅則采用上述綠色環(huán)保的特種二氧化硅生產(chǎn)方法制得。本發(fā)明利用工業(yè)硅尾氣余熱解決本工藝能源問(wèn)題，同時(shí)通過(guò)焙燒將工業(yè)硅附產(chǎn)微硅粉除雜后再采用液相法反應(yīng)、過(guò)濾生產(chǎn)高純水玻璃硅源，最終得到成本低、品質(zhì)好的特種二氧化硅產(chǎn)品；利用工業(yè)硅能源優(yōu)勢(shì)，采用膜濃縮和雙極膜電滲析等處理方式對(duì)廢水進(jìn)行濃縮、電滲析分解的環(huán)保處理，可得到水、硫酸、氫氧化鈉三種可以回用于系統(tǒng)的附產(chǎn)物，實(shí)現(xiàn)廢水零排放；通過(guò)廢水處理系統(tǒng)工藝作用，還進(jìn)一步降低了工藝用水、硫酸、燒堿的有害雜質(zhì)。