一種用于制備多元素改性鋁化物涂層的化學氣相沉積設(shè)備,包括真空反應(yīng)腔室、氣體供給控制系統(tǒng)以及真空與尾氣處理系統(tǒng),其設(shè)備工藝參數(shù)靈活性提高,涂層成分靈活、可控,產(chǎn)品一致性良好,氣體供給控制系統(tǒng)的每一路工藝氣體管道上都依次設(shè)置有氣體減壓閥、體積流量計和質(zhì)量流量控制器,實現(xiàn)化學氣相沉積工藝的高精度控制。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單,操作方便,無包埋工藝,無須涂后清洗,減少了工業(yè)廢水多的排放,能夠滿足改性鋁化物涂層工業(yè)生產(chǎn)和環(huán)保要求,特別是用于航空發(fā)動機膜冷渦輪葉片或地面發(fā)電用重型燃氣輪機透平葉片內(nèi)冷通道表面多元素改性鋁化物涂層的生產(chǎn),涂層厚度均勻、葉片內(nèi)孔道表面涂層全覆蓋,同時保證葉片外表面無有害厚度的涂層生成。
聲明:
“用于制備多元素改性鋁化物涂層的化學氣相沉積設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)