本發(fā)明公開了一種耐腐蝕耐磨損六硼化鑭復(fù)合碳薄膜及其沉積方法,主要用于氯堿化工、石油化工、核工業(yè)和廢水處理等閥門裝置耐磨防腐。本發(fā)明六硼化鑭復(fù)合碳薄膜的結(jié)構(gòu):自工件表面由內(nèi)向外依次為Cr粘結(jié)層、CrN/六硼化鑭多層結(jié)構(gòu)、六硼化鑭復(fù)合碳薄膜。本發(fā)明六硼化鑭復(fù)合碳薄膜多層結(jié)構(gòu)和梯度漸變及非晶納米晶彌散強(qiáng)化,單一薄膜的液流通道被打斷,阻止了多孔涂層液體易于穿過孔道腐蝕界面的可能;六硼化鑭和氮化鉻的交替設(shè)計,提高了基底膜硬度和承載性能;利用反應(yīng)磁控濺射沉積的六硼化鑭復(fù)合碳薄膜具有很強(qiáng)的化學(xué)惰性和低摩擦性能,可以保障閥門密封表面在腐蝕介質(zhì)中長壽命、高可靠服役。
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“耐腐蝕耐磨損六硼化鑭復(fù)合碳薄膜及其沉積方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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