本發(fā)明涉及用于同時檢測 Cu2+、 Pb2+、 Cd2+的陣列式薄膜傳感器及基 制備方法,以p型或n型Si片作基底,在基底上依次為 SiO2層,對 Cu2+、 Pb2+、 Cd2+敏感的三種薄膜;該薄膜傳 感器是通過激光脈沖沉積技術(shù)在 SiO2表面上制備三種敏感薄膜, 采用激光沉積技術(shù)把三個敏感材料分別制備在 SiO2表面上,最后形成三種陣列 式薄膜傳感器。它對溶液中的 Cu2+、 Pb2+、 Cd2+具有選擇性,能檢測出 Cu2+、 Pb2+、 Cd2+的含量。本發(fā)明可在江河湖 泊、生物醫(yī)學領域(如血液、體液)、工業(yè)廢水、中藥、蔬菜、 水果、茶葉等領域中對Cu2+、 Pb2+、 Cd2+同時進行定性和定量檢測。
聲明:
“用于同時檢測Cu2+、Pb2+、Cd2+的陣列式薄膜傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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