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高比重鎢基合金蝕刻劑及其配制和使用方法

636 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 02:43:41

本申請?zhí)岢隽艘环N高比重鎢基合金蝕刻劑及其配制和使用方法，涉及半導體制造領域。一種高比重鎢基合金蝕刻劑，按重量百分比計算，包括以下組成：強氧化劑18?30％、催化劑6?15％、緩蝕劑0.1?1.0％、穩(wěn)定劑1?3％、pH緩沖劑1?5％，余量為水；所述蝕刻劑的pH為13?14。配制方法為：往水中加入催化劑，再添加強氧化劑，混合均勻后加入緩蝕劑、穩(wěn)定劑和pH緩沖劑，調節(jié)pH為13?14，即可配制得到所述高比重鎢基合金蝕刻劑。本配方選取的化學試劑對作業(yè)人員具有較低的健康風險系數(shù)，且作業(yè)后產(chǎn)生的工業(yè)廢水具有較低的環(huán)境風險系數(shù)，克服了現(xiàn)有工藝下作業(yè)安全風險性高和環(huán)境污染負荷大的特點。

聲明：

“高比重鎢基合金蝕刻劑及其配制和使用方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)