本實(shí)用新型涉及一種去除硅片表面漿料的噴淋裝置,包括清洗槽、水箱、噴淋嘴、沉淀池和過濾器,清洗槽安裝在地面上設(shè)置的地槽內(nèi),水箱包括水箱一和水箱二,分別設(shè)置在清洗槽兩端,且在其前端對(duì)應(yīng)設(shè)有噴淋管一和噴淋管二,兩個(gè)噴淋管都通過管旋轉(zhuǎn)連接器固定在清洗槽內(nèi),兩個(gè)噴淋管上都設(shè)有多個(gè)噴孔,在每個(gè)噴孔內(nèi)安裝有噴淋嘴,清洗槽內(nèi)設(shè)置有鋼板,在鋼板下端設(shè)有篩板,篩板下端設(shè)有廢水池,沉淀池包括一級(jí)沉淀池和二級(jí)沉淀池,一級(jí)沉淀池的進(jìn)水口與廢水池的出水口管道連接,出水口連接二級(jí)沉淀池的進(jìn)水口,二級(jí)沉淀池的出水口連接過濾裝置的進(jìn)口;本實(shí)用新型降低生產(chǎn)成本,增加硅片噴淋沖洗幅度范圍,同時(shí)降低硅片清洗臟污率,從而降低硅片隱裂。
聲明:
“去除硅片表面漿料的噴淋裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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