本發(fā)明公開了一種導(dǎo)電布及其制備方法,制備方法包括以下步驟:S1、在真空室內(nèi)的鍍覆區(qū)安裝鍍層對(duì)應(yīng)的靶材,將胚布置于真空室內(nèi);S2、對(duì)真空室進(jìn)行抽真空至本底真空度后充入惰性氣體,將真空室內(nèi)壓力控制并保持在預(yù)定壓力;S3、輸送所述胚布使其經(jīng)過鍍覆區(qū),開啟多弧電源,通過多弧離子鍍對(duì)胚布進(jìn)行鍍層,形成導(dǎo)電布;其中,多弧離子鍍的工作電壓為18?40V,單靶電流30?100A,基底偏壓為0?100V。本發(fā)明的導(dǎo)電布的制備方法,工序簡單,節(jié)省人力,減少了制備過程中廢水、廢氣、危險(xiǎn)
固廢的產(chǎn)生,環(huán)保;制得的導(dǎo)電布具有電阻低、鍍層內(nèi)應(yīng)力低、延展性好,性能穩(wěn)定、附著力優(yōu)良等優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“導(dǎo)電布及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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