本發(fā)明公開了一種高轉(zhuǎn)換效率SE?PERC
太陽能電池的制備方法,涉及太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域,包括以下制備步驟:1)制絨2);磷擴(kuò)散;3)激光重?fù)诫s;4)氧化;5)去PSG;6)堿蝕刻拋光:將硅片背面進(jìn)行堿蝕刻拋光;7)去除硅片正面的硅磷玻璃;8)退火;9)在硅片表面鍍雙面
氧化鋁鈍化膜;10)正面沉積減反射膜;11)背面沉積鈍化膜;12)背面激光開槽;13)絲網(wǎng)印刷;14)燒結(jié);本發(fā)明使用的是堿蝕刻技術(shù),相對于酸蝕刻,可以降低刻蝕酸使用量,減少酸廢水成本處理,有利于環(huán)保,且在激光重?fù)诫s后、去PSG前增加了一到氧化工序,可以保證PN結(jié)不會受損傷,也可以對硅片有良好的鈍化效果,對轉(zhuǎn)換效率有明顯提升。
聲明:
“高轉(zhuǎn)換效率SE-PERC太陽能電池的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)