本實用新型提供了一種切割中單晶硅的應(yīng)急超聲波清洗裝置，包括控制柜、超聲波發(fā)生器和清洗槽，所述的控制柜與超聲波發(fā)生器連接用于控制超聲波發(fā)生器，所述超聲波發(fā)生器設(shè)置在清洗槽內(nèi)部，所述清洗槽內(nèi)具有單晶硅擱置架，所述單晶硅擱置架底部通過一個導(dǎo)軌與清洗槽連接，所述單晶硅擱置架可以在清洗槽內(nèi)滑動，所述清洗槽底部設(shè)置有排渣孔和排水口。本實用新型大大提高了超聲清洗的效果，同時可以對廢水和廢渣進行單獨排放。解決現(xiàn)有超聲波清洗效果不好，殘渣清除不易的問題。