本實(shí)用新型涉及N2退火爐及快速退火前清洗機(jī)噴嘴的安裝、排布方式,提供一種玻璃基板清洗單元,包括與傳送入腔室內(nèi)的玻璃基板相對(duì)設(shè)置的主清洗噴嘴和副清洗噴嘴,所述主清洗噴嘴排布于腔室的前段,副清洗噴嘴排布于腔室的后段,副清洗噴嘴的噴射出口方向與玻璃基板的傳送方向之間的夾角小于90度,本實(shí)用新型采用主清洗噴嘴和副清洗噴嘴相結(jié)合的噴嘴安裝排布方式,與現(xiàn)有僅僅包含與玻璃基板垂直的清洗噴嘴的清洗單元相比,通過在腔室后段增加設(shè)置副清洗噴嘴,增強(qiáng)了整個(gè)清洗單元對(duì)玻璃基板上較小顆粒的去除能力,阻止清洗掉的顆粒再次附著到玻璃基板上,同時(shí)使玻璃基板上的清洗廢水流向與玻璃基板的流向相反,減少了顆粒進(jìn)入相鄰腔室的幾率。
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